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电子行业酸雾处理
电子行业在蚀刻、酸洗、电镀等工序中会产生大量酸雾废气,这些废气若不妥善处理,会腐蚀设备、危害人员健康并污染环境。绿东环保针对电子行业酸雾浓度中低、成分以无机酸为主的特点,采用酸雾喷淋净化塔作为核心处理设备,提供高效且经济的治理方案。
一、电子行业酸雾来源及危害
电子行业酸雾主要来源于印刷电路板(PCB)蚀刻工序中,盐酸、硫酸与铜箔反应产生的氯化氢、二氧化硫等酸性气体;芯片封装前的酸洗工艺中,硝酸、氢氟酸挥发形成的酸雾;电镀环节(如镀镍、镀铬)中,酸性电镀液受热挥发产生的含酸气体;此外,显影、脱膜工序使用的酸性溶液也会释放少量酸雾。
这些酸雾具有强烈的刺激性和腐蚀性,被人体吸入后,会灼伤呼吸道黏膜,引发咳嗽、胸闷、哮喘等症状,长期接触可能导致支气管炎、肺炎等疾病,氢氟酸等剧毒酸雾还会损伤骨骼和神经系统。同时,酸雾会腐蚀车间设备、线路板和精密仪器,缩短其使用寿命,增加企业维护成本。酸雾排放到大气中,会与水汽结合形成酸雨,破坏土壤和水体生态,影响周边环境。
二、电子行业酸雾处理工艺
针对电子行业酸雾成分单一(以盐酸雾、硫酸雾、硝酸雾为主)、腐蚀性强、易溶于水的特点,启绿环保采用的治理工艺为:电子行业产生的酸雾经启绿环保集气系统收集后,进入酸雾喷淋净化塔处理,最后通过排气筒达标排放。
三、电子行业酸雾处理(酸雾喷淋净化塔)工艺说明
首先,在蚀刻槽、酸洗池、电镀槽等酸雾产生点上方安装密封或半密封集气罩,通过耐腐管道连接引风机,利用负压将酸雾集中收集,收集率可达 95% 以上,减少酸雾无组织扩散。
收集后的酸雾进入酸雾喷淋净化塔,塔内填充多面空心球或阶梯环填料,增加气液接触面积。塔顶喷淋系统将碱性吸收液(如氢氧化钠溶液、碳酸钠溶液)均匀喷洒,形成液膜。酸雾与碱性吸收液充分接触,发生中和反应(如氯化氢与氢氧化钠反应生成氯化钠和水,硫酸雾与碳酸钠反应生成硫酸钠、水和二氧化碳),酸性物质被吸收去除。
净化后的气体经塔顶除雾器去除夹带的液滴,通过引风机加压,由 15 米以上排气筒排放。喷淋塔底部的循环水箱储存吸收液,通过水泵实现循环使用,定期检测吸收液 pH 值,当碱性减弱时及时补充药剂,确保处理效果。
四、电子行业酸雾处理方案优势
1、净化效率高:酸雾喷淋净化塔通过气液充分接触和中和反应,对电子行业常见酸雾的去除率可达 98% 以上,处理后废气中酸性物质浓度远低于国家标准(如氯化氢≤10mg/m³),刺激性气味基本消除。
2、针对性强:专门针对电子行业酸雾的腐蚀性和水溶性特点设计,采用耐腐材料(如玻璃钢、PVC)制作塔体和管道,确保设备长期稳定运行。
3、运行稳定:设备能适应酸雾浓度和排放量的波动(如蚀刻工序间歇式产雾),通过自动调节喷淋量和药剂补充量,保持稳定的净化效果。
4、成本经济:设备初期投资低,运行过程中主要消耗氢氧化钠等廉价药剂和少量电能,维护成本远低于干法吸附工艺,适合电子行业中小型企业。
5、操作简便:配备 pH 在线监测仪和自动加药装置,实时监控吸收液碱性,自动补充药剂;日常维护仅需定期清理塔内填料、检查喷淋头通畅性,工人经简单培训即可操作。
6、无二次污染:中和反应产物为无害的盐类物质,定期从循环水箱底部排放沉渣,经处理后可安全处置,避免二次污染。
五、电子行业酸雾处理工程案例


如果您有电子行业酸雾治理需求,欢迎联系绿东环保 137-1272-5152 咨询。

